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High Temp Purification Furnace Series
纯化炉
 
GM006A-V2700型高温纯化炉是将加工成型的石墨制品、保温碳毡、碳粉等,通过高温后通入卤族气体的方法使杂质卤化降低沸点并实时挥发出去以抵达提纯效果的设备。
  • 提纯能力

    <5ppm

高提纯能力+高效维护
提供基础工艺包,提纯能力<5ppm;装置维护便当,满足快节奏生产。
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